Technologiniai įrenginiai instituto laboratorijose.

Mokslo infrastruktūra ir paslaugos

Institute sukaupta šiuolaikinė technologinė ir analitinė įranga, kuri leidžia atlikti mikro- ir nanotechnologijų eksperimentus bei vykdyti išsamius medžiagų ir struktūrų atominės ir cheminės sandaros tyrimus.

Analitinė įranga

Mišiniai, fazės, struktūros

	Rentgeno spindulių difraktometras „D8 Discover” (Bruker AXS, Vokietija, 2014) leidžia atlikti plonų dangų, epitaksinių sluoksnių, daugiasluoksnių darinių, sintezuotų medžiagų ar nanomiltelių formoje, kristalinės struktūros analizę. Šiuo difraktometru, taip pat galima nustatyti kristalinių ir amorfinių plėvelių storį, atlikti polikristalinių medžiagų tekstūros bei plonų dangų liekamųjų įtempių analizę. Specifikacija: 2,2 kW rentgeno spindulių vamzdis su Cu anodu; lygiagrečių spindulių pluoštelio/Bragg-Brentano geometrija; 2xGe(022) kristalų monochromatorius; Giobelio veidrodis (didelio tikslumo daugiasluoksnių kristalų monochromatorius tiesioginei Cu Kα spinduliuotei), rotorinis absorberis, taškinis scintiliacinis detektorius; 1D LynxEye detektorius, naudojantis silicio kompozicinių juostelių technologiją; lazerinė kalibravimo optika; Eulerinis (X, Y, Z, PSI, PHI) bandinių laikiklis; CHI ir XI automatizuotas pozicionavimo stalelis; reflektometrijos priedas; motorizuoto plyšio priedas; „PATHFINDER“ optika (motorizuotas perjungimas tarp aukštos skiriamosios gebos ir didelio intensyvumo rentgeno spindulių kelio). Duomenų apdorojimui ir interpretavimui naudojama „DIFFRAC.SUITE“ (Bruker AXS) paketo programinė įranga „EVA“, „LEPTOS“, „TOPAS“ ir „MULTEX“. Reikalavimai bandiniams: ≥ 100 mg miltelių arba ≥ 10 mm × 10 mm pagrindas; dangos storis 5 – 1000 nm.
	Furje transformacijos infraraudonosios srities spektrometras VERTEX 70 (Bruker, Vokietija, 2011). Furjė transformacijos infraraudonųjų spindulių spektrometras, spektrų registravimo sritis 400-4000cm^-1, skiriamoji geba – 1 cm^-1. Matavimo modos – pralaidumas, 30 laipsnių atspindys, difuzinis atspindys, visiškas vidaus atspindys (ATR).
	Ultravioletinės, regimosios ir artimosios infraraudonųjų spindulių srities šviesolaidinis spektrometras AvaSpec-2048. Spektrometras sukurtas AvaBench-75 simetrinės Czerny-Turner konstrukcijos pagrindu su 2048 pikselių susietųjų krūvių detektorių gardele. Jis skirtas ultravioletinės, regimosios ir artimosios infraraudonųjų spindulių srities šviesos intensyvumui matuoti. AvaSpec-2048 ypač tinka tuomet, kai yra mažas apšviestumas ar reikalinga didelė skiriamoji geba. Šiuo spektrometru galima atlikti matavimus 172-1100 nm diapazone. Skiriamoji geba – 1,4 nm.
	Ramano sklaidos spektrometras inVia (Renishaw, Didžioji Britanija, 2013).Įrangos kompleksas skirtas Raman sklaidos spektrų registravimui su konfokaline mikro- Raman optine sistema bei liuminescencijos matavimams. Naudojama plonų sluoksnių, miltelių ir vandeninių tirpalų tyrimui. Be informacijos apie medžiagos struktūrą, Raman spektroskopija gali būti naudojama įtempių kai kurių tipų plonuose sluoksniuose įvertinimui. 532 nm bangos ilgio, 45 mW galios puslaidininkinis žadinantis lazeris, 2400 linijų/mm gardelė, termoelektriškai šaldoma 1024 taškų CCD, Stokso linijų matavimo diapazonas nuo 100 cm^-1 iki 8000 cm^-1, skiriamoji geba – geriau nei 1 cm^-1. Konfokalinis Leica mikroskopas su 3 objektyvais x20, x50 ir x100. Pateikta 8000 spektrų biblioteka.

Cheminė sudėtis

Analitinė įranga Rentgeno fotoelektronų ir atspindėtų jonų spektroskopijos sistema "ESCALAB 250"

Rentgeno fotoelektronų ir atspindėtų jonų spektroskopijos sistema, ESCALAB 250 (Thermo Fisher, 2013). Paviršiaus tyrimas taikant: Rentgeno fotoelektronų spektroskopija (XPS); jonų sklaidos spektroskopija (ISS); atspindėtų elektronų prarastos energijos spektroskopija (REELS); UV fotoelektronų spindulių spektroskopija (UPS). Monochromatinis Rentgeno spindulių šaltinis: Al anodas, Ar jonų šaltinis jonų sklaidos spektroskopijai, atspindėtų elektronų prarastos energijos spektroskopija; ne blogesnė kaip 0.45 eV skiriamoji geba matuojant Ag 3d5/2 ties pusės energijos maksimumo (FWHM); atvaizdavimo skiriamoji geba ne blogiau kaip ≤ 3 µm; dvigubas krūvio neutralizavimas; UV spindulių fotoelektronų spektroskopijos sistema; bandinio kaitinimas iki 1000 K ir aušinimas iki 77 K; bandinių transportavimas vakuume, vakuumas ne mažiau 5*10^-10 Torr.

Analitinė įranga Rentgeno spindulių energijos dispersijos spektrometras "Bruker XFlash 4030"

Bruker firmos rentgeno spindulių energijos dispersijos spektrometras XFlash 4030. Spektrometras leidžia kiekybiškai ir kokybiškai įvertinti bandinio sudėtį detektuojant cheminius elementus nuo Boro (5) iki Americio (95) pasirinktame taške (1 mm³ tūryje) arba bandinio plote nustatyti paviršiaus atskirų cheminių elementų pasiskirstymo žemėlapį. Modernus 30 cm² ploto Peltje elementais šaldomas rentgeno spindulių silicio slinkties spektrometro detektorius užtikrina 133 eV (ties Mn Ka linija) energijos skiriamąja gebą esant dideliam rentgeno fotonų detektavimo greičiui (100.000 impulsų per sekundę).

Prietaisų, sandūrų ir medžiagų elektrinės, mechaninės ir terminės savybės

	Pikoampermetras KEITHLEY 6487. Voltamperinių charakteristikų matavimas, elektroninių, mikroelektroninių ir optoelektroninių prietaisų elektrinių charakteristikų tyrimas. Įtampa +/- 500V, srovė 100 fA – 20 mA
	Paviršiaus šiurkštumo matuoklis TR200. Skirtas paviršiaus šiurkštumo matavimui. Matavimo ribos: Ra: 0.03μm~6.3μm/1μ~250μ. Rz: 0.2μm~50.0μm/8μ~999μ. Ry/R max: 0.2μm~25μm/8μ~999μ. Skiramoji geba 0.01μm/1μ. Matavimo atkarpa 0.8mm/0.30”; ANSI 2RC Filter
	Dinaminio mikrokietumo matavimo sistema su pagrindu HM 2000S. Plonų sluoksnių ir dangų mikromechaninių savybių tyrimas Galimos apkrovos matavimo metuo 0.1 – 2000 mN
	Impendanso analizatorius ALPHA-AK ir jo priedai; Aukštatemperatūrinė vertikali krosnis TF/IC-1000, 10427 (NorECs). Skirtas dielektrinių medžiagų, plonų plėvelių elektrinių savybių tyrimui, kuro elementų komponentų testavimui įvairiose temperatūrose. Dažnis nuo 3 µHz iki 3 MHz. 2-3 elektrodų sistema. Fazė: 0,001°. Bandinių diametras 16 mm. Dvi “in-plane” ir “through-plane” matavimo konfigūracijos. Maksimali kaitinimo temperatūra iki 1200 °C (tikslumas 0,1 °C).
	Saulės spektro simuliatorius SF150B (Sciencetech Inc. (SCI), Kanada). Šviesos šaltinis, imituojantis saulės spektrą bandinių fotovoltinių charakteristikų matavimuose. Apšvietimo galia 1 Sun AM1.5G Klasė A Apšvietimo netolygumas spindulyje <2% Bandinio spindulio skersmuo 25 mm.
	Vilgumo kampo matuoklis Kruss, Drop Shape Analysis System DSA25. Matavimo ribos 1-180º, paviršiaus įtempimas 0,01-1000 mN/m, matavimo tikslumas 0,1º; 0,01 nM/m. Bandinio dydis 320x∞x165 mm (ilgis x plotis x aukštis).
	Druskos purškimo korozijos testo kamera 60A Druskos purškimo korozijos testo kamera yra naudojama patikrinti įvairių medžiagų paviršiaus atsparumą korozijai. Kameros tūris 108 L, maksimalus druskos tirpalo tūris 15 L, kameros matmenys 107 × 60 × 118 cm, druskos purškimo kiekis 1.0~2.0ml / 80cm² / val. Įranga skirta testuoti įvairių medžiagų atsparumą korozijai.
	Keturių zondų matavimo sistema Įtampos ruožas nuo 100 μV iki 10 V, srovės ruožas nuo 1 μA iki 200 mA, specifinės paviršinės varžos ruožas nuo 100 mΩ/□ iki 10 MΩ/□, tarpai tarp zondų 1,27 mm, maksimalus bandinio dydis 60 × 60 mm, maksimalus bandinio storis 10 mm, programinė įranga Ossila Sheet Resistance Lite. Įranga skirta specifinės paviršinės varžos ir elektrinio laidumo matavimui.
	Indukcinis kaitintuvas metalų lydymui A523 Maksimali temperatūra 1400 ºC, grafitinio tiglio matmenys (D_vidinis × H): 3,5 × 8 cm.
	Vakuuminė džiovinimo krosnis Vacucenter VC50 Vidinis tūris 50 L, maksimalus bandinių (medžiagos) svoris kameroje 20 kg, temperatūros ruožas ≥ 5 – 200 ⁰C, įkaitimo laikas iki 150 ⁰C – 106 min, vakuumas (absoliutus) < 6 × 10^-1 mbar. Įranga skirta bandinių (medžiagos) džiovinimui ar laikymui specifinėmis sąlygomis.
	Rotacinis garintuvas RE100-Pro Tiriamosiose laboratorijose bei chemijos pramonėje rotaciniai garintuvai naudojami efektyviam tirpiklių išgarinimui ir regeneravimui švelniomis sąlygomis. Aukštas šių garintuvų našumas išgaunamas žemo slėgio ir kolbos sukimo dėka. Kolbos sukimasis dirbtinai padidina garuojančio skysčio paviršiaus plotą ir nuslopina kunkuliavimą, tuo tarpu žemas slėgis ženkliai sumažina skysčio virimo temperatūrą. Rotaciniame garintuve įdiegta automatinė kėlimo sistema bei skaitmeniniai proceso valdikliai. Greitis reguliuojamas nuo 20 iki 280 rpm, 5 L vandens – aliejaus kaitinimo vonelė, maksimali kaitinimo temperatūra 180 ºC, temperatūra valdoma ± 1ºC tikslumu, LCD ekranas rodo kaitinimo temperatūrą, sukimosi greitį ir laikmatį, patentuotas šaldiklis su 1500 cm² šaldymo paviršiumi sukuria ypač greitą šaldymo efektą. Įranga skirta tirpiklių išgarinimui ir regeneravimui
	Infraraudonųjų spindulių termometras UT302D+ Temperatūros matavimo ruožas 32 – 1100 °C, tikslumas 1,5 %,matavimų atsikartojamumas 0.7 °C, D:S santykis 20:1, atsako laikas 250 ms, reguliuojama emisija 0.1~1.0, spektrinis atsakas 8 – 14 μm, lazerio galia < 1 mW. Įranga skirta temperatūros matavimui.
	Skaitmeninis kietumo matuoklis Shore D Durometer Matavimo ruožas 0 – 100 HD, padalos vertė 0.5 HD, tikslumas ± 2 HD, indentavimo gylis 0 – 2,5 mm, max. spaudimo jėga 5 kg, indenterio tipas D (smailus kūgio taškas, 30⁰). Įranga skirta medžiagos kietumo nustatymui.
	Dangos storio matuoklis DT-156 Du matavimo rėžimai: magnetinės indukcijos ir sūkurinių srovių principas, matavimo ruožas 0 – 1250 μm, tikslumas ± 3 % + 1 μm, skiriamoji geba 0,1 μm. Įranga skirta dangos ar plėvelės storio nustatymui.

Mikroskopija

	Skenuojančio zondo mikroskopijos sistema NanoWizard®3 NanoScience su reikiamais priedais (JPK instruments AG, Vokietija). Skirta paviršių topografijos matavimams bei mechaninių, elektrinių ir magnetinių savybių nustatymui ore ir skysčiuose. Tinkama kietų kūnų, polimerų, biologinių bandinių ir molekulių charakterizavimui, nanomanipuliacijai bei nanolitografijai. Darbo režimai: kontaktinis, trūkaus kontakto, bekontaktis; Lateralinių jėgų mikroskopija; Fazinio vaizdo registravimas; Jėgos moduliacijos jėgos pasiskirstymo (jėgos žemėlapio); Kiekybinis vaizdinimas: paviršiaus atvaizdai jėgos kreivių pagrindu; Magnetinių jėgų mikroskopija; Jėgos-atstumo spektroskopija; jėgos-atstumo tūrinio vaizdinimo režimas; Nanolitografija ir Nanomanipuliacija; Laidumo mikroskopija su I/V kreivių registravimu; Kelvino zondo mikroskopija (KPM); talpuminė mikroskopija. Skenavimo laukas 100×100 µm; aukštis iki 15 µm Iki 100 mm diametro ir 50 mm aukščio bandiniai.
	Skenuojantis elektroninis mikroskopas FEI Quanta 200 FEG su Rentgeno spindulių energijos dispersijos spektrometru Bruker XFlash 4030. Skenuojantis elektroninis mikroskopas Quanta 200 FEG, yra vienas iš pagrindinių nano technologijų įrankių, t.y. nano struktūrų ir nano prietaisų, paviršiaus vaizdinimo priemonė. Jame naudojamas modernus lauko emisijos elektronų šaltinis leidžiantis dirbti kontroliuojamo slėgio vandens garų atmosferoje, todėl šiuo mikroskopu galima tirti elektriškai nelaidžius objektus su aukšta 1,2 nm skiriamąja geba (skiriamoji geba – minimalus registruojamas matmuo). Skiriamoji geba aukštame vakuume iki 1.2 nm (30 kV, SE), iki 2.5 nm 30 kV (BSE), 3 nm (1 kV, SE). Trys darbiniai vakuumo režimai: Aukštas vakuumas (<6e-4 Pa) žemas vakuumas (10-130 Pa), dar žemesnis vakuumas (10-4000 Pa) Galima tirti laidžius ir nelaidžius mėginius.
	Optinis mikroskopas su fluorescencijos priedu OPTIKA. Įvairių medžiagų paviršiaus tyrimas ir mikrometriniai matavimai, fluorescencijos tyrimai. Plataus lauko okuliarai su mikrometrine skale, skaitmeninė vaizdo kamera, fluorescencijos priedas Didinimas x1500 Bandiniai iki 100 mm skersmens ir 50 mm aukščio.
	Optinis analizatorius Nikon S. Optinis analizatorius Nikon (modelis S) naudojamas optiškai skaidrių struktūrų dydžio matavimams automatiniu režimu (matavimo neapibrėžtis 0.1+L/500 µm, čia L – matuojamos struktūros ilgis). Optinio analizatoriaus didinimas – 1200. 800 kartų didinantis optinis analizatorius – komparatorius Nikon (modelis N2) naudojamas struktūrų dydžio matavimams pralaidumo arba atspindžio režimu. Šis analizatorius – komparatorius ypatingai naudingas matuojant plokštuminės topologijos žingsnio paklaidą. Analizatorių taikymo sritys: foto kaukės kontrolė, žingsnio paklaida, puslaidininkio lustų kontrolė.

Optinės savybės

	Spektroskopinis elipsometras GES-5 (Semilab). Prietaisas tinkamas ir skirtas Plonų, izotropiškų ir anizotropiškų, skaidrių ir neskaidrių sluoksnių ant izotropiškų ir anizotropiškų, skaidrių ir neskaidrių pagrindų, optinių konstantų (k(λ), n(λ)) ir storio matavimai; periodinių struktūrų linijinių matmenų nustatymas (skaterometrija, angl. scatterometry); absorbcijos kinetikos tirpaluose matavimai. Spektroskopinis elipsometras perdengiantis UV-VIS-NIR spektrį diapazoną. Matavimo kampai 12-90 deg su 0.01 deg skyra, galimybė matuopti fokusuotu pluoštu (70×150 um). Aukštos skiriamosios gebos detektorius UV-VIS 190-900 nm su 0.5 nm skyra, greitas UV-VIS detektorius 190-900 nm 1024 bangų ilgiai, didelės skiriamosios gebos NIR detektorius 800-2000 nm su 3 nm skyra. Automatizuotas bandinio padėties valdymas su vaizdinimu skaitmenine kamera
	Lazerinis elipsometras Gaertner L-115. Lazerinis elipsometras naudojamas plonų dielektrinių ir puslaidininkinių plėvelių storio ir lūžio rodiklio nustatymui. Lazerinė elipsometrija pagrįsta nuo bandinio atspindėtos monochromatinės poliarizuotos šviesos poliarizacijos parametrų analize. Lazerio spindulio bangos ilgis – 632.8 nm. Plėvelių storis 0.001 – 1 µm. Storio matavimų neapibrėžtis – ±(0.5 – 1) nm. Lūžio rodiklio matavimo neapibrėžtis ±0.01. Taikymo sritys: plonų polimerinių, dielektrinių ir puslaidininkinių plėvelių, pusiau skaidrių (<50 nm) metalo plėvelių storio ir lūžio rodiklio matavimas.
	Šviesolaidinis spektrometras CMA 012 Spektrinis ruožas 360 – 940 nm, skiriamoji geba < 1,5 nm FWHM, pikselio skiriamoji geba < 0,5 nm, šviesos šaltiniai – halogeninis ir UV LED (405 nm), programinė įranga Coach 7. Įranga skirta pralaidumo, sugerties ir liuminescencijos matavimui UV-VIS spektriniame diapazone. Galima analizuoti skysčius standartinėje kiuvetėje ir kietus skaidrius bandinius.

Technologinė įranga

Litografijos procesai

Elektroninės nanolitografijos, elektroninės mikroskopijos ir paviršiaus analizės sistema e-LiNE plus (Raith, Vokietija). Skirta nanolitografijai ir nanostruktūrų formavimui bei medžiagų paviršiaus ir sudėties tyrimams. elektronų pluoštelio energija keičiama intervale nuo 20 V iki 30 kV 1 nm pozicionavimo tikslumas 100×100 mm lauke apvalaus bandinio skersmuo iki 100 mm (4“), stačiakampio bandinio dydis iki 102×102 mm skenuojantis elektroninis mikroskopas su “in-lens” ir Everhart-Thornley tipo detektoriais, didinimas iki x1.000.000 energijos dispersijos spektrometras Bruker QUANTAX 200 su 5 kartos silicio detektoriumi, energijos skyra <129eV, detektuoja elementus nuo Be (Z=4) iki Am (95)

Technologinė įranga Sutapdinimo ir eksponavimo įrenginys "OAI Model 204"

Sutapdinimo ir eksponavimo įrenginys OAI Model 204. Precizinis tapdinimas su fotokauke, plonų fotorezisto sluoksnių eksponavimas ultravioletiniais spinduliais. Tinka apvaliems padėklams, kurių skersmuo 50, 76, 102 mm ir nestandartiniams bandiniams, ne mažesniems, kaip 5×5 mm padėklo storis iki 1 mm fotokaukės storis iki 4,8 mm atstumas tarp padėklo ir fotokaukės reguliuojamas iki 50 µm ultravioletinės šviesos bangos ilgio diapazonai: UV400: 350-450 nm; UV300: 280-350 nm; UV250: 240-260 nm (gilus ultravioletinis spinduliavimas) UV nanoįspaudimo litografijos priedas dvipusio tapdinimo infraraudonaisiais spinduliais priedas eksponavimo šaltinio galia 500 W apšvietimo vienodumo nuokrypis ne didesnis, kaip 3% skiriamoji geba ne blogesnė, kaip 0,5 µm minkštas vakuuminis kontaktas kietas kontaktas (su pneumatiniu slėgiu) tapdinimo tikslumas ne blogesnis, kaip 0,5 µm

Sluoksnių formavimas / modifikavimas

	Vakuuminio garinimo įrenginys CUBIVAP Įrenginys skirtas metalinių ir dielektrinių dangų formavimui. Orientuotas į optinių interferencinių filtrų ir Fabri – Pero optinių filtrų gamybą. Optinė sistema su skenuojančiu monochromatoriumi suteikia galimybę kontroliuoti formuojamų dielektrinių dangų optinį storį. Tuo pat metu storis matuojamas ir kvarciniu storio matuokliu. Įrenginio parametrai. Dvi 15 kW galingumo elektronų patrankos Du 4 kW galingumo rezistyviniai garintuvai Padėklų temperatūra: 20 – 400^oC Vakuumas kameroje: 10-3 Pa Vakuuminio garinimo įrenginys A7000E Skirtas metalinių ir dielektrinių dangų formavimui. Formuojamų dangų storis kontroliuojamas mikroprocesoriumi ir kvarciniu storio matuokliu. Įrenginio parametrai: Vakuumas kameroje: 10^-4 – 10^-5 Pa Dvi 6 kW galingumo elektronų patrankos su keturių padėčių persukamais tigliais Padėklų temperatūra: 20 – 400^oC.
	Vakuuminio garinimo įranga A7000E naudojama metalinėms ir dielektrinėms plėvelėms gaminti. Suformuotų bandinių storis kontroliuojamas mikroprocesoriumi ir kvarciniu storio matuokliu. Įrangos parametrai: Vakuumas kameroje 10^-4-10^-5 Pa; du 6 kW galios elektroniniai šautuvai su keturiais besisukančiais tigliais. Pagrindo temperatūra: 20-400 ^oC.
	Epitaksinų GaAs sluoksnių auginimo sistema KRATOS Epitaksinių GaAs sluoksnių auginimas,auginamų sluoksnių kontrolė. Epitaksiniams GaAs sluoksniams auginti skirtos 8 kaitinimo talpos, kompiuteriu valdomos 8 sklendės, bandinių transportavimas vakuume, vakuumas ne mažiau 1*10-10 Torr.
	Langmuir-Blodgett vonelė. Įrenginys skirtas (Π-A) Izotermių gavimui ir mono- bei daugiamolekulinių organinių struktūrų formavimui ant kietų paviršių Langmuir-Blodgett (LB) metodu. Įrenginį sudaro LB vonelė, elektroninis valdymo blokas ir asmeninis kompiuteris su operacine sistema Windows 98/2000/XP valdymo programai paleisti. Vonelės parametrai: laisvojo paviršiaus plotas – 400 cm²; darbinis paviršius – 318 cm²; skysčio tūris – 1000-1050 cm³. paviršinio slėgio matuoklis – Wilhelmi plokštelė (paklaida 0,1 mN/m); šulinio matmenys: gylis – 75 mm, skersmuo – 60 mm.
	Ni dangos formavimas ant plastiko paviršiaus Elektrolizės vonios talpa 65 litrai. Elektrolitas – nikeliavimo sulfamatinis su specialiaisiais priedais (blizgodariu, dangos kietikliu). Reikiama elektrolito temperatūra vonioje palaikoma elektroniniu būdu valdomu kaitinimo elementu. Elektrolitas maišomas mechanine maišykle bei cirkuliaciniu siurbliu pumpuojant jį pro tekstilinį filtrą. Anodas – titano krepšys, užpildytas elektrolizės metu tirpstančiomis Ni +0,1% NiS granulėmis. Elektros srovė tiekiama iš keičiamo srovės stiprio elektros lygintuvo (I_max =0 ÷30 A). Elektrolizės metu pratekėjusios elektros kiekis (A/h) matuojamas specialiu skaitikliu. Ni sluoksniu dengiamo paviršiaus plotas iki 500 cm².
	Centrifuga plonų sluoksnių formavimui KW-4A su priedais. Centrifuga, kaitlentė ir UV lempa plonų sluoksnių formavimui. Centrifugoje galima nustatyti dvi skirtingos trukmės (2-18 s ir 3-60 s) ir sukimo greičio (500-2500 rpm; 1000-8000rpm) procesus. Kaitlentės temperatūra 30-300 deg C, banginio dydis iki 6 colių, temperatūros skiriamoji geba 0.1 deg C. UV lempa 4 x 6 W lempos, bangos ilgiais 246 nm, 365 nm, sukamaps bandinys ( 4 inch, 6 rpm)
	Joninio DTAD nusodinimo įrenginys Įrenginys skirtas joniniu būdu auginti deimanto tipo anglies dangas (DTAD) iš angliavandenilių ir legiravimo medžiagų. Įrenginio parametrai: ribinis vakuumas kameroje: 4·10^-4 Pa DTAD; nusodinimo slėgis: (1-2)·10^-2 Pa; jonų šaltinio greitinanti įtampa: iki 2 kV; jonų srovės tankis: 0,05 – 0,25 mA/cm²; solenoido srovė: 6A; naudojamos dujos: gali būti naudojamos inertiškos bei reaguojančios dujos.
	Mikrobange plazma aktyvuoto cheminio nusodinimo iš garų fazės sistema CYRANNUS I-6“ (IPLAS Innovative Plasma Systems GmbH). Kristalinio deimanto, anglies nanovamzdelių, grafeno auginimas. Plazmos šaltinio skersmuo 6″, plazmos šaltinio galia 6 kW, plazmos dažnis 2.45 GHz ,tolygaus nusodinimo srities skersmuo 5 cm.
	Plazmocheminio nusodinimo įrenginys PK-2430PD Įrenginys skirtas plazmocheminiam dielektrinių SiN plėvelių nusodinimui iš monosilino ir amoniako dujų bei ėsdinimui (SiO2, Si3N4plėvelių). Įrenginio parametrai: ribinis vakuumas kameroje: 1,3 Pa; technologinis slėgis kameroje: 13,3-1330 Pa; AD generatoriaus galia: 0-3 kW Dažnis: 13,56 MHz; padėklo temperatūra: 20-350˚C; naudojamos dujos: SiH4, NH3, N2, CF4, O2, CHF3, Ar.
	Indukcine plazma aktyvuoto giliojo reaktyviojo joninio ėsdinimo įrenginys Vision LL-ICP (Plasma-Therm) Gilusis reaktyvusis joninis ėsdinimas, skirtas tūrinio mikroformavimo procesams ir nanodarinių formavimui. Tolygaus ėsdinimo srities skersmuo 15 cm.
	Joninio ėsdinimo įrenginys „USI-IONIC“ Įrenginys skirtas puslaidininkinių, metalinių mikrostruktūrų ėsdinimui jonų pluoštu. Įrenginio parametrai: ribinis vakuumas kameroje: 5·10^-4 Pa; technologinis slėgis kameroje: 7·10^-2 – 4·10^-1 Pa; jonų pluoštelio energija: 0 – 500 keV; jonų srovės tankis: 0,01 – 0,30 mA/cm²; naudojamos dujos: Ar, N2, O2, He, C³F₈.
	Kapiliarinis mikro/nano dalelių nusodinimo įrenginys Mikro ir nanodalelių iš koloidinio tirpalo tvarkingas užnešimas ant trafareto naudojantis kapiliarinėmis jėgomis. Proceso vaizdinimas optiniu mikroskopu su tamsaus lauko interferencinio kontrasto funkcija.
	Dviejų komponentų dozatorius Dopag Micro Mix E Gali maišyti tik tai kas įpilta dabar – PDMS elastomerą ir kietiklį santykiu 1:10. Mažiausias maišomas kiekis 1 ml. Naudojamos vienkartinės statinės maišykles.
	Orbitinė maišyklė Thinky Centrifuge Mixer ARE 250 Maišo iki 250 ml klampaus skysčio (skirta PDMS maišymui).
	3D spausdintuvas W10 Maksimalūs spausdinamo 3D modelio matmenys 98 × 55 × 140 mm, sluoksnio storis nuo 0,025 to 0,1 mm, spausdinimo greitis 30 mm/val., XY ašių pozicionavimo tikslumas 115 μm, Z ašies pozicionavimo tikslumas 0,625 μm, lazerio bangos ilgis 405 nm, spausdinimui naudojama medžiaga – LCD derva, programinė įranga Alfawise W10 Slice, palaikomi failų formatai STL. Taikymo sritys: 3D modelių gaminimas, bandomoji gamyba.
	Centrifuga LACE16 Maksimalus greitis 10000 rpm, maksimalus tūris 6 × 100 ml, maksimali santykinė centrifuginė jėga 19040 g, laikmatis 0 – 99 min, greičio tikslumas ± 20 rpm. Įranga skirta fazinei separacijai.

Lazerinės technologijos

	UV Lazeris. Holografinė litografija, mikroapdirbimas. 375 nm bangos ilgio 15 mW galios lazeris.
	Lloyd’o veidrodžio holografinės litografijos sistema (Standa). Holografinė litografija, mikroapdirbimas. Galima formuoti 188-323 nm periodo struktūras (interferencijos kampas 80-35º, atitinkamai).
	Lazerinės gamybos ir kinetinės spektroskopijos sistema FemtoLab (R&D Altechna). Medžiagų mikro-/nano-/fabrikavimas fokusuotu lazerio pluoštu ir absorbcijos kinetikos matavimas. Yb:KGW lazerio parametrai: bangos ilgis 1030 nm, galia 4W, impulso trukmė 290 fs, energija > 0.2 mJ. Fabrikavimui galima naudoti sufokusuotą pirmos (1030 nm), antros (515 nm) ir trečios (343 nm) harmoniką bei antros harmonikos valdomo periodo (0.8-1.3 um) interferenciniu lauku. Mikrofabrikavimas 160mm x 160 mm plote su 300 nm pozicionavimo tikslumu. Stalų judėjimo greitis 300 mm/s, bandinio svoris iki 3 kg. Spektroskopinės sistemos žadinamo bangis ilgio derinima diapazonas 315-2600 nm, zonduojanžio pluošto spektirnis plotis 480-1100 nm, laikinė skyra 16.67 fs, didžiausias impulsų užlaikymas 1.8 ns, absorbcijos pokyčių detektavimo riba 0,5 mOD.
	Taškų hologramos originalo formavimo įrenginys „HENGLEI Hologram“. Taškų hologramų originalų formavimas fotorezisto sluoksnyje. Lazerio spindulio bangos ilgis – 405 nm. Formuojamų taškinių hologramų matmenys: 200*200 mm. Pasirenkama skyra: 317; 600, 1200 dpi.

Optiškai kintančių apsaugos ženklų formavimas

	Mikrospaudų formavimo mašina MSM-1. Įrenginys skirtas hologramų ir difrakcinių optinių elementų įspaudimui į daugiasluoksnę polimerinę plėvelę Papildomos funkcijos: – adhezinių sluoksnių formavimas ant polimerinės plėvelės arba silikonizuoto popieriaus juostos, – iškirtimas.
	Hologramų tiražavimo įrenginys. Gaminti optines dokumentų ir intelektualinės nuosavybės apsaugos priemones su mikrodifrakciniais elementais. Optinių apsaugos ženklų tiražavimas daugiasluoksnėje polimerinėje plėvelėje (juostoje). Formavimo temperatūra 50 ^oC iki 180 ^oC, juostos plotis 160mm, ilgis 1000m, juostos storis 16 ÷ 100 µm, tiražavimo greitis 0 ÷ 10 m/min.
	Hologramų antrinimo įrenginys. Mikroreljefo antrinimas plastiko paviršiuje. Submikrometrinių (nanometrinių) matmenų reljefo formavimas plastiko paviršiuje. Formavimo temperatūra 20 ^oC iki 200 ^oC, slėgis nuo 0 iki 900 KPa, plotas 200×200 mm.
	Lazerinio ženklinimo sistema RY-F30 Lazerio galia 30 W, darbinis plotas 110 × 110 mm, lazerio bangos ilgis 10,64 μm, atsako laikas 0,5 ms, pulso dažnis 20-100 KHz, ženklinimo gylis ≤ 0,4 mm, ženklinimo greitis iki 7000 mm/s, atsikartojamumo tikslumas ± 0,001mm, spindulio diametras < 30 μm, rotoriaus priedas cilindrinių detalių ženklinimui, valdymo programinė įranga EZCAD, palaikomi grafiniai failų formatai BMP, JPG, GIF, TGA, DXF, PLT, PNG, TIF, DST. Įranga skirta įvairių medžiagų lazerinis ženklinimas