Pažanga tarpdisciplininėse mokslo šakose yra neatsiejama nuo prietaisų ir juos sudarančių elementų miniatiūrizacijos ir didėjančio sandaros kompleksiškumo. Šių sudėtingų, multimedžiagiškų elementų, pvz.: integruotų grandynų, mikroskysčių prietaisų, kokybės patikrai reikalingi neardomieji bandymai. Tam labai parankus metodas skenuojanti akustinė mikroskopija, kur vaizdinimui naudojamos didelio dažnio fokusuotos ultragarsinės bangos. Šiuo metodu tiriant paslėptas struktūras (pvz.: litografiškai suformuotus kontaktus, mikroskysčių prietaisų kanalų tinklus) susiduriama su sudėtinga akustinių signalų interpretacijos problema. Šiame projekte siekiama sukurti ir pagaminti sudėtingus, trimačius modelinius (žinomos geometrijos) bandinius, kurie savo struktūra, medžiagiškumu, matmenimis ir fizikinėmis savybėmis būtų artimi būdingiems akustinės mikroskopijos tyrimų objektams. Tam KTU MMI bus įsisavintos naujos litografijos technologijos (gilus plazminis ėsdinimas, ultratrumpų impulsų lazerinis poveikis derinamas su selektyviu cheminiu ėsdinimu). KTU KBUMI sukurs naują tokių sudėtingų trimačių objektų akustinį modelį ir parinks reikalingas geometrijas bei medžiagų derinius reikalingus modelinių bandinių pagaminimui. KTU MMI naudojantis naujai įsisavintomis litografijos technologijomis suformuos šiuos bandinius. KTU KBUMI bus atidirbta tokių sudėtingų trimačių bandinių vaizdinimo metodika ir jie derinat su modeliavimo rezultatais bus eksperimentiškai ištirti akustine mikroskopija. Ultragarso metodika gauti rezultatai bus palyginti su Rentgeno spindulių tomografijos vaizdinimo rezultatais. Galiausiai KTU KBUMI sukurta paslėptų trimačių objektų vaizdinimo technologija bus panaudota KTU MMI kuriamų mikroskysčių prietaisų trimačiui kanalų tinklo nedestruktyviam vaizdinimui bei litografijos kokybės vertinimui.
Projekto finansavimas:
KTU MTEPI fondas
Projekto įgyvendinimo laikotarpis: 2016-03-03 - 2016-12-31
